定了！中微公司重大战略调整，向平台公司发展，未来4年完成20多种禁运薄膜设备开发

在成为我国半导体刻蚀设备龙头后，中微公司（688012.SH）接下来会怎样发展？在最近举行的中微公司2024年度及2025年第一季度业绩说明会上，中微公司董事长尹志尧对此做出了解答！

中微公司给的答案很简单，就是向平台型半导体设备公司转型。中微公司表示，目前中微可以覆盖30%的集成电路设备，今后五到十年内公司将与合作伙伴共同覆盖60%的集成电路高端设备。

具体来看，中微公司此次战略转型的核心抓手是三大半导体设备之一的薄膜设备（另外两大设备是光刻设备和刻蚀设备）。公司强调，但相信3年到5年之内，薄膜设备业务预计至少成长到公司现在刻蚀设备业务一半的规模，达到同等数量级。

另外，中微公司还就当前热门的并购重组潮回答了投资者的提问，尹志尧表示，光靠并购做大的公司根基不稳，核心还是要增加自己的本事。

刻蚀业务：精度达到0.1纳米及以下

在此次业绩说明会中，中微公司首先介绍了公司当前的核心业务刻蚀业务。

2024年，中微公司刻蚀设备收入约72.77亿元，在最近四年收入年均增长超过50%的基础上，又同比增长约54.72%。 除了收入上的增长，在技术和市场方面，中微公司的表现也可圈可点，呈现出产品覆盖面广和技术达到全球先进水平两大特点。

产品覆盖面方面，中微公司董事长尹志尧表示，在等离子体刻蚀领域，我们基本可以全面覆盖，包括成熟及先进逻辑器件、闪存、动态存储器、特殊器件等，并且已经有95%到99%的应用都有了批量生产的数据或客户认证的数据。

技术先进性方面，尹志尧称，工艺精度上，中微公司ICP刻蚀机Twin-star两台的加工精度已经进入皮米数量级，达到100皮米以下水平（1 纳米=1000皮米）；双台刻蚀机实现原子、亚原子水平刻蚀控制，达到全球先进水平。目前业内量产所用刻蚀机的深宽比在60:1，中微公司正在突破90到100:1的深孔刻蚀。

值得注意的是，在2024年财报中，中微公司曾表示，公司刻蚀设备已应用于全球先进的5纳米及以下集成电路加工制造生产线。在海外先进的5纳米芯片生产线及下一代更先进的生产线上，公司的CCP刻蚀设备均实现了批量销售，已有超过300 台反应台在生产线合格运转。

向平台公司发展 覆盖60%的集成电路高端设备

虽然刻蚀业务才是当前中微公司的核心业务，但接下来的中微公司关于非刻蚀业务的表述，才是此次中微公司业绩说明会的核心，这关系到中微公司未来的发展方向。

首先，尹志尧明确，未来中微公司将是一家平台式的集团公司。其表示，目前中微可以覆盖30%的集成电路设备。而在今后五到十年内，中微公司将与合作伙伴共同覆盖60%的集成电路高端设备，包括刻蚀、薄膜及量检测的全部设备，以及一部分湿法设备，成为平台式的集团公司。

其中，薄膜设备将是中微公司接下来工作的重心。

兵马未动粮草先行，中微公司首先加强了在薄膜业务方面的研发投入。尹志尧介绍，过去20年，中微公司大部分研发投入在刻蚀上，刻蚀占研发比例长期保持在70%左右，最高甚至超过75%。但是，最近几年，越来越多的钱投入到薄膜设备的研发上。因为薄膜的种类非常多，所以说研发投入与刻蚀没有伯仲之分了。因此，也期待薄膜设备的收入体量快速增长。

在不断增长的研发费用的作用下，中微公司的研发效率大幅提升，同时薄膜业务迎来了快速发展。

中微公司介绍，十年前，我们一般需要三到五年来开发一个新产品，然后再花两年时间进入市场……从最新产品信息来看，现在我们只需要大约18个月，最多两年就能完成新品研发，半年到一年就可以量产并进入市场。

薄膜业务发展方面，中微公司2024年年报显示，去年公司LPCVD实现首台销售，全年设备销售额约1.56亿元。目前，中微公司规划了近40种导体薄膜沉积设备的开发。其中9种设备已经完成开发，6款实现量产运转1年，今年计划将完成7种设备开发。

并且，对于公司薄膜业务未来的发展，尹志尧强调，我们很快将会把国际对国内禁运的20多种薄膜设备开发完成，预计到2029年完成所有开发……虽然公司薄膜设备现在的销售额还不到10亿，但相信3年到5年之内，预计至少成长到公司现在刻蚀设备一半的规模，达到同等数量级。

除了在技术方面推进公司薄膜业务的发展，在产能方面中微公司也在进行布局。今年初，中微公司曾发布公告称，拟在成都市高新区投资设立全资子公司中微半导体设备（成都）有限公司，建设研发及生产基地暨西南总部项目。该项目总投资额30.5亿元，将面向高端逻辑及存储芯片，开展化学气相沉积设备、原子层沉积设备及其他关键设备的研发和生产工作。

当然，除了薄膜业务，中微公司还在大力推进量检测设备业务和泛半导体业务的发展，此处就不一一列举了。

会不会并购？强调光靠并购做大的公司根基不稳

众所周知，近期半导体行业迎来了一波并购重组的大潮，典型的案例有海光信息合并吸收中科曙光、北方华创入主芯源微等。那么，作为A股第二大半导体设备公司，中微公司会加入到并购重组的潮流中么？

从中微公司董事长尹志尧的发言和中微公司的财务状况来看，短期内中微公司应该不会进行大规模的并购重组。

在此次业绩说明会上，尹志尧表示， “中微公司从来都是有机生长（自研）跟外延扩张相结合。我们的基点在技术而不在并购，光靠并购做大的公司根基不稳，核心还是要增加自己的本事。”

从具体案例上来看，中微公司也确实更倾向于自研，而非并购。

比如说，中微公司正在重点发展的薄膜设备业务。实际上中微公司是A股薄膜设备龙头拓荆科技的第三大股东，持股比例为7.33%。但目前，并没有任何中微公司要收购或者吸收合并拓荆科技的消息。

另外从财务状况来看，在不进行融资的情况下，中微公司可能也难以进行大规模的收购。

截至2025 年 3月31日，中微公司的货币资金为78.35亿元。虽然手握重金，但在今年初中微公司宣布了2个投资总额达到30亿元的投资项目，分别是在成都高新区设立全资子公司并建设研发及生产基地暨西南总部项目以及在广州建设华南总部及产品研发与生产基地。

不过，虽然短期内可能不会进行大规模的并购，但中微公司正在通过投资的方式来扩大自身在半导体行业的影响力。

据介绍，公司自上市以来斥资20多亿元投资了约40家产业链上下游企业，实现了浮盈50多亿元的良好经济效益和战略协同效果。其中公司参股投资的8家公司已完成A股上市。