光刻设备国内唯一，北方华创要并购的这家公司不简单

2026-03-17 14:45:41 壹问财经周路遥

一场并购，拉开了北方华创（002371.SZ）进军光刻设备市场的号角。

2025年3月10日晚间，北方华创发布公告称，拟受让沈阳先进制造技术产业有限公司（以下简称“先进制造”）持有的芯源微（688037.SH）9.49%的股份，交易金额为16.87亿元。

同时，北方华创还表示，沈阳中科天盛自动化技术有限公司（以下简称“中科天盛”）拟转让所持芯源微8.41%的股份，公司将积极通过参与公开挂牌竞买等方式继续增持芯源微股份并取得对其控制权。

据了解，截至2024年9月30日，芯源微第一大股东辽宁科发实业有限公司持有芯源微10.61%的股权。如果北方华创能够顺利完成上述两大交易，北方华创将持有芯源微17.9%的股份，成为其第一大股东。

北方华创强调，此次交易的目的是为了加快推动公司战略落实，发挥协同效应。

国内唯一的光刻设备龙头

众所周知，光刻设备、刻蚀设备和薄膜设备，是半导体领域的三大主要设备。目前，在刻蚀设备和薄膜设备领域，北方华创在国内市场，已经是行业龙头企业了。但在光刻设备领域，北方华创的布局较为薄弱。如果我们以“光刻”二字为关键字在北方华创2024年半年报中进行搜索的话，找不到任何内容。

但如果北方华创能够控股芯源微，情况就不一样了！

芯源微公告显示，公司是目前国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的厂商，经过长期的技术积累和在客户端的验证及量产应用，目前已完成在前道晶圆加工环节 28nm 及以上工艺节点的全覆盖，14纳米及以下先进制程工艺也在有序验证中。

此外，为应对高端光刻机日益提升的产能需求，芯源微最新一代超高产能前道涂胶显影机FTEX的研发工作也在高效推进中，公司将快速推进其验证和产业化进程。

那么什么是涂胶显影设备？它有什么用处呢？据了解，涂胶显影设备是半导体产线上唯一与光刻机联机作业的核心设备，它与光刻机高度绑定。简单来说，涂胶就是把光刻胶涂抹到半导体晶圆上。而后，光刻机对光刻胶进行曝光，在曝光后由显影设备进行光刻图案的显影。可以说，涂胶显影设备的好坏，直接关系到光刻的良率！

综上所述，如果北方华创能够成功入主芯源微，那么北方华创在光刻设备、刻蚀设备和薄膜设备三大设备领域，都将是国内的龙头企业。

当然，除了涂胶显影设备，芯源微在其他半导体设备领域，也有可圈可点之处。

芯源微曾发布公告称，2024年上半年，公司临时键合机、解键合机商业化推广和验证进展顺利，目前在手量产或验证性订单已十余台，已全面覆盖国内主要2.5D、3D封测及HBM客户。目前该产品已完成部分客户验证并获得重复性订单，在验机台工艺指标表现优秀。

此外，2024年8月底，芯源微战略新产品-前道单片式高温硫酸清洗机在上海临港厂区启运发往国内重要逻辑客户开展工艺验证。据悉，高温硫酸清洗工艺被业界公认为28nm/14nm制程性能要求最高的工艺之一，也是业内最具难度和挑战的湿法工艺，芯源微研发的该款设备有望打破国外龙头对高温硫酸清洗技术的绝对垄断，机台性能及工艺技术致力于达到国际先进水平。

北方华创并购

光刻设备国内唯一，北方华创要并购的这家公司不简单

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