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光刻机重大突破：年产100台光刻机项目环评获批行业最高水平封装光刻机交付客户！

2026-03-17 14:45:50 壹问财经周路遥

国产光刻机在近期迎来了重大突破。

企查查显示，2025年2月27日，我国光刻机龙头上海微电子“先进封装光刻机及温控装置产品产业化项目” 环评获批。据了解，该项目建成后，将新增光刻机（SSB500）产能100台/年、新增温控机产能100台/年。

除了新项目环评获批，在今年2月7号，上海微电子首台2.5D/3D先进封装光刻机也交付了客户，据上海微电子介绍，该产品主要应用于高端数据中心高性能计算（HPC）和高端AI芯片等高密度异构集成领域，代表了行业同类产品的最高水平。

年产100台光刻机、100台温控设备

上海微电子光刻机项目环评获批后，芯辰大海第一时间查阅了上海微电子的“先进封装光刻机及温控装置产品产业化项目环境影响报告”，摘录了其中关键信息，详情如下：

项目名称：先进封装光刻机及温控装置产品产业化项目

未扩建前原有产能：

现有项目生产规模包括年产曝光机（SSB260/10，曝光机与光刻机都为光刻机，本项目命名为光刻机主要因为2种设备型号不同）共计19台，与曝光机生产相配套的平板光刻工艺测试线，年测试次数为12000片次；年产激光封装设备1台；年产 ModuleAOI（自动光学检测设备）1台；年产长短寸检测设备1台；年清洗1500件中小型光学机加工零件。

项目建设内容：

本次扩建项目主要从事先进封装光刻机、温控机的生产，新增光刻机（SSB500）100台/年、新增温控机100台/年。本次项目不改变现有项目的产能，预计建成后全厂生产曝光机（SSB260/10）19台，激光封装设备1台，ModuleAOI（自动光学检测设备）1台，长短寸检测设备1台，年清洗1500件中小型光学机加工零件，测试光刻机生产相配套的平板光刻工艺12000片次、光刻机（SSB500）100台、温控机100台。

原有光刻机（SSB260）和新增光刻机（SSB500）应用领域：平板显示领域专用光刻机

上海微电子首台2.5D/3D先进封装光刻机于2月交付客户

占有率全球第一

实际上，上海微电子在近期实现的突破不只是上述项目环评获批。还有一个技术上的突破，即：首台2.5D/3D先进封装光刻机于2月交付客户。

据了解，2月7日，上海微电子举行首台2.5D / 3D先进封装光刻机发运仪式。上海微电子官微介绍，先进封装光刻机是公司目前的主打产品，全球市场占有率连续多年排名第一。此次发运的产品是新一代的先进封装光刻机，主要应用于高端数据中心高性能计算（HPC）和高端AI芯片等高密度异构集成领域，可满足2.5D/3D超大芯片尺寸的先封装应用需求，代表了行业同类产品的最高水平。

光刻机上海微电子

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