拓荆科技启动上市辅导:曾获5轮投资
挖贝网 2月23日,拓荆科技股份有限公司(下称“拓荆科技”)与招商证券签署上市辅导协议,并于近日在辽宁证监局备案。
据企查查显示,公司股东共有32位,国家集成电路产业投资基金股份有限公司持有26.4833%股份,位列公司第一大股东,国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙)和中微半导体设备(上海)股份有限公司分别持有18.2347%股份和11.1982%股份,位列公司第二和第三大股东。
公司目前经历了5轮融资,最近的一次是在2019年6月份,获浑璞投资战略投资。

据公司官网显示,拓荆科技成立于2010年4月,专业从事高端半导体薄膜设备的研发、生产、销售与技术服务。公司三次承担国家科技重大专项。2016年、2017年、2019年获评中国半导体行业协会授予的“中国半导体设备五强企业”称号。
公司产品包括PECVD产品系列、ALD产品系列、3D NAND产品系列、技术服务及零部件。其中公司的12英寸3D-NAND PECVD设备NF-300H产品,目前可实现超过 128 对的 SiONF-300H 设备由拓荆科技承担了国家十三五重大专项,自主研发,是国产首台应用于新一代三维闪存芯片(3D NAND)生产线上的等离子体化学气相薄膜沉积设备,拥有自主知识产权。
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